측정&검사장비

백색광 간섭 측정 현미경 시스템
· AIMS Series ·

AIMS는 미세표면형상(Surface profile) 및 조도(Roughness)를 측정하는데 주로 사용됩니다.

백색광 기반으로 간섭무늬를 활용하여 정확한 측정값을 제공합니다.

제품특징

· 백색광 간섭 변위 측정 센서

· 단차, 두께, 조도 측정

· 기존 현미경 활용 가능

· 데이터 자동 분석 및 리포트 (Option)

고정밀 피에조 스캐닝 시스템

우수한 성능의 

Piezo nanopositioner and scanner for microscope objectives

적용으로 다이나믹한 퍼포먼스를 제공합니다.

자체 분석 소프트웨어 

국내 개발의 소프트웨어는 사용자 중심의 직관적인 UI로 

데이터 획득시 간단한 사용법과 다양한 기능을 제공 합니다.

어플리케이션 

· 미세한 표면 형상 및 조도 측정

· LCD 및 Display 소자 측정

· Wafer 뒷면의 Packaging, Laser Marking의 Roughness 측정 

· MEMS Device 및 정밀 표면 측정 

· 자동차 부품 및 소자 측정

간섭계
카탈로그

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