주문제작시스템
레이저 현미경을 활용하여 다양한 샘플을 고객의 요구에 맞게 주문 제작 합니다.
기존 장비에서는 검사가 불가 했던 대형 사이즈 및 자동 측정 요구에 대응합니다.
레이저 현미경을 활용하여 다양한 샘플을 고객의 요구에 맞게 주문 제작 합니다. 기존 장비에서는 검사가 불가 했던 대형 사이즈 및 자동 측정 요구에 대응합니다.
· 200/300mm 웨이퍼 대응
· Wafer Handler 구성
· Robot c/w Ceramic end effector
· Pre-aligner
· Auto Alignment
· Auto Measurment
· Ionizer
· FA(SECS/GEM comunication)
· 샘플 사이즈에 대응하여 주문제작
· 대형 전동 스테이지
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