주문제작시스템

레이저 현미경 검사 시스템

레이저 현미경을 활용하여 다양한 샘플을 고객의 요구에 맞게 주문 제작 합니다.

기존 장비에서는 검사가 불가 했던 대형 사이즈 및 자동 측정 요구에 대응합니다.

주문제작시스템

레이저 현미경 검사 시스템

레이저 현미경을 활용하여 다양한 샘플을 고객의 요구에 맞게 주문 제작 합니다. 기존 장비에서는 검사가 불가 했던 대형 사이즈 및 자동 측정 요구에 대응합니다.

· WAFER 검사 시스템  ·
SYSTEM 구성

· 200/300mm 웨이퍼 대응

· Wafer Handler 구성

SPEC

· Robot c/w Ceramic end effector

· Pre-aligner

· Auto Alignment

· Auto Measurment

· Ionizer

· FA(SECS/GEM comunication)

· 대형 샘플 검사 시스템  ·
SYSTEM 구성

· 샘플 사이즈에 대응하여 주문제작

SPEC

· 대형 전동 스테이지

· Auto Alignment

· Auto Measurment

· FA(SECS/GEM comunication)

· WAFER 검사 시스템 ·
SYSTEM 구성

· 200/300mm 웨이퍼 대응

· Wafer Handler 구성

SPEC

· Robot c/w Ceramic end effector

· Pre-aligner

· Auto Alignment

· Auto Measurment

· Ionizer

· FA(SECS/GEM comunication)

· 대형 샘플 검사 시스템 ·
SYSTEM 구성

· 샘플 사이즈에 대응하여 주문제작

SPEC

· 대형 전동 스테이지

· Auto Alignment

· Auto Measurment

· FA(SECS/GEM comunication)

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서울시 송파구 송파대로 167 테라타워 B동 1123-2호

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